スチールヒーター – misuzu-industry
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MISUZU Original Product

ヒーター関連製品
美鈴工業が自らの技術と発想で生み出した、
オリジナル製品をご紹介します。

複合機・半導体製造を支える
次世代スチールヒーター

下線

「より速く、より均一に、よりクリーンに。」
MISUZUのスチールヒーターは、複合機や半導体製造装置の"心臓部"で活躍する加熱ユニットです。
高速昇温、均一な温度管理、クリーン環境でも安定動作を実現し、
生産性と品質を大きく向上させます。

ケース1

スチールヒーターとは?

スチールヒーターは半導体製造装置に搭載され、工程で必要な加熱処理や、複合機でのトナー定着を効率化する部品です。 特許技術による温度制御と、省エネ設計で、従来のヒーターに比べて生産効率を大きく改善します。

ケース2

どこで使われている?

複合機(コピー機・プリンター)

copy

半導体製造装置・FPD製造装置

fpd

自動車(EV)

led
ケース3

4つの特徴

クイックレスポンス
従来比で約3倍の昇温スピード。立ち上がりが速く、待ち時間短縮。

サーモグラフィー

クリーン対応
真空環境や窒素(N₂)雰囲気下でも安定稼働。半導体製造に最適。 発塵ゼロ設計のため、クリーンルーム下でも汚染なし。

高効率 IR&均一加熱
高効率IRで効率的に加熱、特許技術で均熱加熱を実現。

薄膜形状や特殊サイズ
薄膜化、特殊形状にも対応可能で設計の自由度が高い。

高効率 IR&均一加熱
高効率IRで効率的に加熱、特許技術で均熱加熱を実現。

薄膜形状や特殊サイズ
薄膜化、特殊形状にも対応可能で設計の自由度が高い。

サーモグラフィー
ケース4

受注生産

受注設計開発から量産まで対応しています。
初期検証として、下記製品ラインナップを使用することもできます。

製品ラインナップ

製品03
照射面サイズ 124×124
使用温度
(照射面温度)
常用:400℃以下
瞬間最高:500℃以下(新規開発品:常用500℃・瞬間最高600℃)
入力電源、
出力(2タイプ)
入力 AC200V時⇒出力 1000W
入力 AC100V時⇒出力 500W
採用例 FPD 製造装置(連続炉)、半田リフロー、タッチアップ装乾燥用、等
その他 M-04タイプとの組み合わせで、照射面サイズを自由に設計可能
製品04
照射面サイズ 124×248
使用温度
(照射面温度)
常用:400℃以下
瞬間最高:500℃以下(新規開発品:常用500℃・瞬間最高600℃)
入力電源、
出力(2タイプ)
入力 AC200V時⇒出力 1000W
入力 AC100V時⇒出力 500W
採用例 FPD 製造装置(連続5)、半田リフロー、半導体製造装置等真空チャンバー、等
その他 M-03タイプとの組み合わせで、照射面サイズを自由に設計可能
製品08
照射面サイズ 350×280
使用温度
(照射面温度)
常用:400℃以下
瞬間最高:500℃以下(新規開発品:常用500℃・瞬間最高600℃)
入力電源、
出力(2タイプ)
入力 AC200V時⇒出力 1200W
(~3000W程度までカスタマイズ可能)
採用例 FPD・太陽電池・半導体などの製造装置等 特に真空チャンバーやN2雰囲気炉
その他  
製品10
照射面サイズ 1210×256
使用温度
(照射面温度)
常用:400℃以下
瞬間最高:500℃以下(新規開発品:常用500℃・瞬間最高600℃)
入力電源、
出力(2タイプ)
入力 AC220V時⇒1000W(at250℃)
採用例 FPD 製造装置等
その他 複数枚を組み合わせることで、様々なサイズのワークに対応可能

製品案内資料

「Steel Heater」の資料(PDF)を無料でダウンロードしていただけます。
以下のフォームより個人情報の入力を行うことでダウンロードが可能です。
試作から量産まで対応可能。新規受注開発/共同開発、標準ヒーターのカスタマイズ承ります。

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